1、真空度欠缺：抽不上真空泵的极限真空度。
解决方案：主要查询真空泵体系的密封性，看是不是有细微处漏气。次之应翻看气镇，让泵运转三十分钟左右,来抽干非泵油污染造成的可压缩蒸汽，清除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。替换旋片和绷簧，并清理转子和泵腔;查看排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气受阻，必要时应替换排气阀门。
2、进口真空泵漏油：这是真空泵最普遍的缺陷之一，主要产生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个方向上，其主要缘故是真空泵使用时间较长而造成这些位置老化，密封无效，随后造成漏油。
解决方案：替换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫等真空泵配件，维修完成后，注油前运用专用真空泵泵油冲刷真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以坚持油箱的清理。最该注意的是，不可以新旧真空泵泵油、不一样牌子真空泵泵油混和使用。
3、泵轴轴承位磨损：真空泵传动位置损坏是常见故障，包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位磨损。
解决方案：多采用直接替换成原装进口真空泵配件的方法，可从底子解决困难。要求注意的是，必须采用正品零配件或进口资料出产的、质量较好的真空泵配件进行替换，可确保功效。
4、腐蚀：进口真空泵腐蚀样子可分成全方位腐蚀和一部分腐蚀两类，两者较均匀的产生在真空泵悉数表面，后者只是产生在一部分，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。
解决方案：采用高分子复合资料对真空泵施行表面有机涂层防腐，具备非常优秀的耐化学作用及出色的力学作用和粘接作用，与传统式的压力容器焊接修复比较，具备施工简洁、低成本、安全作用和修正功效好的特点。
5、壳体裂纹决裂：进口真空泵因铸造、加工缺陷，内应力及超负荷运转等各种缘故经常造成零部件展现裂纹或开裂的现象。
解决方案：惯例修正方式是采用焊接，但是的零件原料是铸铁、铝合金、钛合金，还有一些易发生爆炸的风险场所，难于采用焊接修正方式，需采用别的方式解决。
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